【绀野美奈子】尼康 2027 年 1 月发售对准站 Litho Booster 1000，优化套刻精度 从而适应多种工艺条件

新闻中心 · 2026-08-12 02:14:28

IT之家 8 月 3 日消息
，对准度绀野美奈子

Litho Booster 1000 通过重新优化晶圆卡盘 ，化套显著缩减了晶圆吸附过程中的刻精误差 
，这一设备与现有机型相比实现了约 35% 的尼康年月测量精度优化和 10% 的晶圆吞吐量优化。使对准标记和套刻标记更易检测 
，发售该设备吞吐量较现有机型优化约 10%，对准度并将获得的化套绀野美奈子校正值前馈至光刻机，

尼康表示，刻精Nikon（尼康）7 月 30 日宣布  ，尼康年月相比现有机型的发售对准测量精度优化约 35%；其通过优化测量完善光源性能，其可在不缩减产能的对准度前提下对晶圆形变与偏移进行高精度测量 ，还能搬送翘曲程度更大的化套晶圆。从而有助于实现高套刻精度。刻精

对准站是可并置于光刻机旁的测量设备 。该企业将于 2027 年 1 月底发售半导体制造设备新品锐布 Litho Booster 1000 对准站 。芯片结构的 3D 化正从 CIS（CMOS 图像传感器）扩展至逻辑和存储器件，业界在曝光及晶圆对晶圆键合的工序中对晶圆形变与偏移的精细掌握需求正在持续优化 。